泄漏检测技术领域有多种方法可检测不同泄漏量的漏隙,如气泡检漏、卤素检漏、压力变化检漏、氦质谱检漏等,氦质谱检漏具有适应范围广、定位定量准确、无毒、安全、反应速度快等优点,因此对泄漏量在10- 6 Pa·m3/s 以下的微小漏隙,目前比较广泛采用氦质谱检漏方法。